TaN微波功率薄膜匹配负载的设计及制备

• 作者: 张雪峰 李会容
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜匹配负载 电压驻波比 仿真 反应溅射
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TM544
• 字数: 1433字
• 语种: 中文

摘要

基于有耗传输线理论设计了频率为DC-3GHz的TaN微波功率薄膜匹配负载,采用HFSS软件仿真了匹配负载的频率特性.根据设计仿真结果,采用反应磁控溅射和掩模图形化方法制备了TaN微波功率薄膜匹配负载样品,基片为6 mm×9 mm×1 mm的BeO陶瓷基片,TaN薄膜的直流电阻为50Ω.结果表明,实验结果与仿真结果基本一致,在DC-3 GHz频率范围内,样品的电压驻波比(VSWR)都小于1.2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张雪峰	攀枝花学院材料工程学院	59	126	6.0	8.0
2	李会容	攀枝花学院电气信息工程学院	26	70	4.0	7.0