采用原子层沉积技术在管道内壁镀铝膜的分析研究

• 作者: 刘恒 熊玉卿 王济洲
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子层沉积 管道内壁 波导 铝
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 47-50
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.014

摘要

研究分析了采用原子层沉积技术在大长径比管道内壁镀制铝膜的可行性.首先,建立了管道内壁气体吸附动力学方程,通过分离变量法解吸附动力学方程,计算出反应前驱体在管道内壁达到饱和化学吸附的时间；其次,根据铝晶胞的面心立方结构,计算出每层原子层沉积周期所镀制的铝膜厚度；最后,理论计算能实现正常波导的管道内壁所需要的铝膜最小厚度,得出原子层沉积所要循环的周期数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恒	兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室	2	4	1.0	2.0
2	熊玉卿	兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室	20	24	3.0	3.0
3	王济洲	兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室	19	29	3.0	3.0