正对电极结构型碳化硅光导开关的制备与性能研究

• 作者: 刘学超 周天宇 常少辉 施尔畏 杨建华 黄维
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光导开关 钒掺杂6H-SiC 正对电极结构
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1058-1062
• 页数: 5页
• 分类号: TN36
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.11749

摘要

采用钒掺杂半绝缘6H-SiC衬底,以Ni/Au为接触电极制备了一系列正对电极结构型光导开关,对SiC光导开关进行了不同外加电压、激发光强、激发光波长条件下的测试,着重研究了SiC光导开关的光电吸收效应和光电响应性能.实验结果表明,532 nm的激光激发的脉冲信号宽度远小于1064 nm的激光激发的脉冲信号宽度,半绝缘6H-SiC衬底对532 nm激光的吸收系数在0.601～0.692 mm-1之间;采用532 nm的激光激发光导开关,获得了纳秒量级的响应信号;流经开关的瞬态电流随着外加电压和激发光能量的增加而增大,随着衬底厚度的增加而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨建华	中国科学院上海硅酸盐研究所	41	367	10.0	18.0
2	施尔畏	中国科学院上海硅酸盐研究所	71	1736	25.0	41.0
3	刘学超	中国科学院上海硅酸盐研究所	13	94	4.0	9.0
4	黄维	中国科学院上海硅酸盐研究所	26	228	9.0	15.0
5	周天宇	中国科学院上海硅酸盐研究所	2	2	1.0	1.0
6	常少辉	中国科学院上海硅酸盐研究所	2	19	1.0	2.0