大口径平行光管实时检焦系统

• 作者: 张晓辉 李响
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 五棱镜 线阵CCD 实时检焦 大口径平行光管
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 55-60
• 分类号: TH74
• 字数: 3783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2012.07.009

摘要

大口径平行光管作为实验室测试和标定必不可少的设备,已经普遍应用于各种光学设备的标定与检测中.但是光管因为震动、温度的梯度变化和空气扰动等影响因素出现离焦现象时,会导致平行光管出射光发散角增大,测量结果可信度降低.针对以上问题,本文提出了一种利用五棱镜作为光反馈元件的小型焦面监测装置,采用CCD作为图像采集装置,科用软件实现系统离焦量的计算,可对大口径平行光管的焦面进行长时间高精度的监测.经过计算机仿真与试验表明:本系统检焦分辨力可以达到45 μm以内,满足实验室检测设备精度要求

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	70	732	13.0	25.0
2	李响	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	27	171	7.0	12.0