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场发射透射电镜真空系统的并行自动抽气控制
场发射透射电镜真空系统的并行自动抽气控制
作者:
崔永俊
张秀艳
董全林
钱建强
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
场发射枪透射电镜
真空系统结构
并行抽气
PLC控制
摘要:
真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分.按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程.采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽气时间,提高真空泵的利用率.通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换,通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气.通过测试,能够达到预定的真空度要求.
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文献信息
篇名
场发射透射电镜真空系统的并行自动抽气控制
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
场发射枪透射电镜
真空系统结构
并行抽气
PLC控制
年,卷(期)
2012,(2)
所属期刊栏目
测量与控制
研究方向
页码范围
5-9
页数
分类号
TB753|TP273
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1002-0322.2012.02.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
崔永俊
北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室仪器科学与光电工程学院
2
1
1.0
1.0
5
董全林
北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室仪器科学与光电工程学院
47
241
9.0
13.0
6
张秀艳
北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室仪器科学与光电工程学院
2
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参考文献(0)
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引证文献(0)
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2013(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
场发射枪透射电镜
真空系统结构
并行抽气
PLC控制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
总被引数(次)
12898
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