快速抛光技术接触压力建模与仿真

• 作者: 杨炜 郭隐彪 陈真
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 快速抛光 接触压力 弹性力学模型
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 215-218
• 分类号: TH164
• 字数: 2368字
• 语种: 中文

摘要

快速抛光技术不但可提高加工速度,还能保证抛光精度,是实现超精密平面光学元件批量化加工的最有效加工方式.通过对快速抛光原理的分析,建立了工件与抛光垫之间的弹性力学模型,分析了载荷条件和边界位移条件,并以此为基础建立了工件与抛光垫的有限元模型.通过仿真分析得出了接触压力的分布情况,并通过抛光实验验证了仿真结果,为研究快速抛光技术提供了实验理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈真	厦门大学物理与机电工程学院	6	36	4.0	6.0
2	郭隐彪	厦门大学物理与机电工程学院	115	781	14.0	20.0
3	杨炜	厦门大学物理与机电工程学院	16	100	6.0	9.0