计算全息法检测离轴凸非球面照明镜组初始结构设计

• 作者: 任建锋 郭培基
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息术 计算全息法 离轴凸非球面 照明系统 近似共光路
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 261-265
• 页数: 5页
• 分类号: O435.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201232.0222005

摘要

设计一种特殊的应用于计算全息法(CGH)高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统.该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近似共光路系统,降低照明系统的制造精度.分析了照明系统的几何光路模型,将复杂的两用途系统简化,得到照明系统工作距离、照明系统焦距以及参考面曲率半径三个特征参量之间的关系.设计时,通过控制这几个特征参量,得到满足检测要求的系统初始结构.设计结果表明,该方法可以满足系统使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭培基		25	387	12.0	19.0
2	任建锋		3	18	2.0	3.0