矩形口径离轴非球面镜的加工与检测

• 作者: 丁蛟腾 安有慧 许亮 陈钦芳 马臻
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离轴非球面 拼接 非球面抛光 零位补偿法
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 607-610
• 分类号: TH706
• 语种: 中文

摘要

介绍了240mm× 180mm矩形口径离轴双曲面反射镜的加工与检测.提出了一种通过配块把矩形镜拼接成母镜来实现离轴镜加工的方法.完成了最佳比较球面和最大非球面度等工艺参数的计算.抛光阶段的非球面检测采用零位补偿法,其中零位补偿器是补偿检验中的关键元件.该离轴双曲面镜的最终面形RMS达到了0.02λ,满足了设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马臻	中国科学院西安光学精密机械研究所	39	533	13.0	22.0
2	许亮	中国科学院西安光学精密机械研究所	14	51	4.0	6.0
3	丁蛟腾	中国科学院西安光学精密机械研究所	6	27	3.0	5.0
4	陈钦芳	中国科学院西安光学精密机械研究所	7	39	4.0	6.0
5	安有慧	中国科学院西安光学精密机械研究所	1	3	1.0	1.0