膜层厚度对金属薄膜光学常数的影响

• 作者: 卢进军 孙雪平 李向阳
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 超薄金属薄膜 光学常数 色散 吸收 椭偏法
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 602-606
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文

摘要

从麦克斯韦方程出发,可以得到超薄金属膜层光学常数n、k与其厚度有关系的理论依据.采用电阻热蒸发和电子束热蒸发的方法在K9玻委基底上分别沉积了不同厚度的Cu膜、Cr膜、Ag膜,由椭偏法检测、Drude模型拟合,获得了不同厚度Cu膜、Cr膜、Ag膜光学常数n、k随波长λ的变化规律.超薄金属薄膜与块状金属的光学常数相差较大,随着薄膜厚度的增加,n、k值趋近于块状金属.通过对样品膜层吸收、色散特性的分析,发现连续金属薄膜在可见光波段对长波的吸收较大,而且相比于介质薄膜平均色散率高10mn～102 nm量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢进军	西安工业大学光电工程学院	19	49	4.0	6.0
2	李向阳	西安工业大学光电工程学院	7	39	4.0	6.0
4	孙雪平	西安工业大学光电工程学院	8	16	3.0	4.0