溅射气压对快速制备Y2O3种子层的影响研究

• 作者: 夏钰东 张飞 熊杰 程崛 薛炎 赵晓辉 郭培 陶伯万
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: YBa2Cu3O7-x(YBCO)涂层导体 溅射气压 面内外半高宽
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 45-48,69
• 页数: 5页
• 字数: 1876字
• 语种: 中文

摘要

采用动式卷绕直流反应磁控溅射法,在双轴织构的Ni-5at％W基带上快速制备双面Y2O3种子层用于制备高质量YBa2Cu3O7-x(YBCO)涂层导体.研究了溅射气压对种子层织构和表面形貌的影响,以及不同溅射气压条件下种子层的两面一致性.优化工艺条件之后,制备出纯c轴取向的双面Y2O3种子层,其双面面外、面内半高宽分别为3.6°,3.4°和4.6°,4.3°,表面平整致密,平均晶粒尺寸约为40nm.