磁控溅射ZrN薄膜厚度对其色度的影响

• 作者: 孙维连 孙铂 安广 李新领 王会强
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 沉积速率 膜层厚度 ZrN薄膜 色度
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 47-49,78
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2487字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2012.02.013

摘要

采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度.用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值,绘制出不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值的变化曲线图,得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律:膜层厚度低于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,L*和a*值无变化,b*值呈线性递增,且颜色逐渐趋于金黄色；膜层厚度高于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,薄膜颜色坐标未有明显变化,颜色为稳定的金黄色.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙维连	河北农业大学机电工程学院	96	375	10.0	12.0
3	王会强	河北农业大学机电工程学院	60	154	6.0	8.0
5	李新领	河北农业大学机电工程学院	23	98	7.0	8.0
7	孙铂	河北农业大学机电工程学院	37	112	6.0	8.0
10	安广	河北农业大学机电工程学院	2	10	2.0	2.0