丙烯酸共聚物的合成及其制备阳极电沉积光致抗蚀剂研究

• 作者: 何江川 刘仁 刘敬成 刘晓亚 安丰磊
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 化学
• 关键词: 紫外光固化 阳极电沉积 负型光致抗蚀剂 丙烯酸共聚物
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 57-60
• 分类号: O631.3
• 字数: 3257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2012.07.021

摘要

以丙烯酸(AA)、丙烯酸异辛酯(EHA)和苯乙烯(St)为单体通过自由基溶液共聚制备了阴离子型丙烯酸共聚物PESA,利用甲基丙烯酸缩水甘油醚(GMA)与PESA上羧基的开环反应合成一系列不同酸值的光敏共聚物G-PESA,经三乙胺(TEA)中和、去离子水乳化后成阳极电泳乳液.用核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、差示扫描量热法(DSC)、热重分析(TGA)、粒度分析仪考察了共聚物的结构和性能、乳液的粒径分布情况.结果表明:合成了目标产物G-PESA,初步研究了以光敏共聚物G-PESA为主体的负型光致抗蚀剂的应用性能,分辨率可达40μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓亚	江南大学化学与材料工程学院	275	2088	22.0	30.0
2	刘仁	江南大学化学与材料工程学院	76	286	8.0	12.0
3	刘敬成	江南大学化学与材料工程学院	39	169	6.0	10.0
4	安丰磊	江南大学化学与材料工程学院	8	28	3.0	5.0
5	何江川	江南大学化学与材料工程学院	1	0	0.0	0.0