基于电子散斑干涉技术的直线度误差测量方法

• 作者: 宋伟 陈桢
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 直线度误差 测量 电子散斑干涉技术
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光全息与信息处理
• 页码范围: 29-30
• 页数: 2页
• 分类号: TG83|TH74
• 字数: 1869字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2012.03.015

摘要

将散斑干涉与CCD图像处理技术相结合，提出了一种测量空间直线度误差的新方法，该方法利用待测工件的直线度误差使毛玻璃移动微小位移，通过散斑条纹的变化求出位移变动量。由导出的直线度误差与位移的关系，对工件的直线度误差进行了测量，测量结果为7．420μm。实验结果表明，此种方法测量精确度高，具有一定的使用价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋伟	燕山大学理学院	10	13	2.0	3.0
2	陈桢	燕山大学理学院	1	1	1.0	1.0