入射角度对Ti/Al(001)沉积薄膜微观结构的影响

• 作者: 周银库 游晓燕 陈尚达
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子动力学 入射角度 Ti/Al薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（16）
• 所属期刊栏目: 计算模拟
• 页码范围: 153-155,164
• 分类号: O469
• 字数: 1727字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.16.039

摘要

采用分子动力学方法模拟Ti在Al(001)表面的薄膜生长过程,计算不同入射角度下Ti薄膜的表面粗糙度、堆积密度、径向分布函数、键对含量比.结果表明,当入射角度小于30°时,其对Ti薄膜粗糙度、堆积密度的影响很小,而当入射角度大于30°时,Ti薄膜粗糙度增加、堆积密度下降;入射角度对Ti薄膜微观结构的影响很小,且Ti薄膜以fcc结构为主.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈尚达	湘潭大学材料与光电物理学院湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室	12	22	3.0	4.0
2	周银库	湘潭大学材料与光电物理学院湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0
3	游晓燕	湘潭大学材料与光电物理学院湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0