气压对磁控溅身硅钼薄膜结构及内应力的影响

• 作者: 信绍广 刘延学 张茂国 朱伟 李宁
• 来源期刊: 金属世界
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 科技前沿
• 页码范围: 21-23
• 分类号: TN252
• 字数: 2293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6826.2012.04.009

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宁		4	5	1.0	2.0
2	信绍广		2	5	1.0	2.0
3	张茂国		1	1	1.0	1.0
4	朱伟		1	1	1.0	1.0
5	刘延学		2	1	1.0	1.0