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Try and error-based scheduling algorithm for cluster tools of wafer fabrications with residency time constraints
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摘要：
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| 篇名 | Try and error-based scheduling algorithm for cluster tools of wafer fabrications with residency time constraints | ||
| 来源期刊 | 中南大学学报（英文版） | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2012,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 187-192 | |
| 页数 | 分类号 | O4 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.1007/s11771-012-0990-9 | ||
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中南大学学报(英文版)
主办单位：
中南大学
出版周期：
月刊
ISSN：
2095-2899
CN：
43-1516/TB
开本：
大16开
出版地：
湖南省长沙市中南大学内
邮发代号：
创刊时间：
1994
语种：
eng
出版文献量（篇）
5570
总下载数（次）
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