碳钛颗粒膜表面电子发射特性

• 作者: 任雯 梁海锋 蔡长龙
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳钛颗粒膜 表面传导电子发射 伏安特性 场致发射
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 22-25
• 分类号: TG174.444|O462.4
• 字数: 1838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.007

摘要

采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜,应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型器件.在幅值渐增的三角波电压作用下,器件在电压幅值低于17V时,伏安特性呈明显的线性特性,对应的薄膜表面没有变化；进一步升高器件电压幅值,伏安特性呈明显的负阻特性,同时可以观测到表面电子发射,表面电子发射最大达到7.2μA,发射效率达到了0.094 3％,薄膜表面失色,产生明显的孔洞结构.根据F-N理论拟合器件电压和发射电流,所得Ie-Vf特性曲线呈直线,表明发射电子源于场致电子发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡长龙	西安工业大学光电学院	82	319	8.0	14.0
2	任雯	西安工业大学光电学院	1	0	0.0	0.0
3	梁海锋	西安工业大学光电学院	35	180	7.0	12.0