MEMS传感器随机误差分析

• 作者: 于丽杰 高宗余
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 随机误差 Allan方差 系数
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 63-65,70
• 分类号: TN253
• 字数: 2051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.03.019

摘要

根据MEMS传感器中随机误差较大,有时会覆盖传感器中有用信号的问题,提出采用Allan方差方法对MEMS传感器实测数据进行分析.系统地分析了引起MEMS传感器误差的随机噪声种类及其来源和特性,Allan方差分析方法的优势不仅在于能确定各类随机误差的误差特性,而且可以确定出其误差系数,由此可与相应的各种滤波方法相结合更好地实现其滤波效果.实验证明:Allan方差分析是对MEMS传感器随机误差进行研究的有效方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于丽杰	北京联合大学自动化学院	19	156	7.0	12.0
2	高宗余	北京联合大学自动化学院	8	87	4.0	8.0