掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度

• 作者: 宋丽 张翼飞 杜韦陶 王劼 王玉柱 罗红心
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 功率谱密度(PSD) 均方根粗糙度(RMS) 掠入射X射线散射法(GIXRS) 超光滑表面 同步辐射光源 白光干涉法
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 同步辐射技术及应用
• 页码范围: 255-259
• 分类号: O766|TG84
• 字数: 3491字
• 语种: 中文

摘要

在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系.在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS).与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王劼	中国科学院上海应用物理研究所	38	128	6.0	7.0
2	罗红心	中国科学院上海应用物理研究所	7	35	3.0	5.0
3	宋丽	中国科学院上海应用物理研究所	18	303	7.0	17.0
4	王玉柱	中国科学院上海应用物理研究所	15	56	3.0	7.0
5	杜韦陶	中国科学院上海应用物理研究所	1	3	1.0	1.0
6	张翼飞	中国科学院上海应用物理研究所	10	22	3.0	4.0