微型靶件装配中自动对焦方法的研究

• 作者: 吴文荣 张林 李杏华 王海强
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 惯性约束激光聚变 显微测量 自动对焦 步进运动
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 20-22
• 分类号: TP273
• 字数: 1975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2012.07.006

摘要

惯性约束激光聚变(ICF)实验对微靶的装配精度要求越来越高,基于机器视觉的在线监测系统是微靶零件测量的主要手段.精确的光学聚焦是进行稳定、高精度测量的前提.提出了一种基于三维精密位移平台的主动对焦方法.通过实验选取了合适的清晰度评价函数.采用大步长找区域,小步长找点的搜索策略,实现了系统的快速精确对焦,调焦精度可优于10μm,总体调焦时间约为30 s.克服了手动调焦时间长,不能保证成像完全清晰的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	233	1406	18.0	25.0
2	李杏华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	66	514	13.0	19.0
3	吴文荣	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	8	73	4.0	8.0
4	王海强	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	1	1.0	1.0