用衍射效率比测浮雕矩形光栅参量

• 作者: 庄其仁 戴文海 赵艮春 陈唐荣
• 来源期刊: 华侨大学学报（自然科学版）
• 关键词: 矩形光栅 衍射效率比 激光衍射 光栅参数 衍射光强比
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 251-254
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文

摘要

基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和1级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄其仁	华侨大学信息科学与工程学院	90	328	10.0	16.0
2	赵艮春	华侨大学信息科学与工程学院	3	1	1.0	1.0
3	陈唐荣	华侨大学信息科学与工程学院	3	1	1.0	1.0
4	戴文海	华侨大学信息科学与工程学院	3	1	1.0	1.0