三维还原炉内多晶硅化学气相沉积的数值模拟

• 作者: 张攀 李建隆 王伟文 范军领 陈光辉
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 数值模拟 还原炉 多晶硅
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 511-516
• 分类号: TB332
• 字数: 2629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0096.2012.03.029

摘要

建立描述SiHCl3-H2系统中混合气体的动量、热量和质量同时传递,且耦合气体反应、表面反应的模型,研究利用计算流体力学CFD( Computational Fluid Mechanics)软件Fluent6.2结合物质传递和反应模型,数值模拟三维还原炉内物质分布规律、热传递现象和多晶硅的沉积特性.计算结果表明,随气体流量、硅棒表面温度和操作压力的增加,硅沉积速率增长.理论研究结果对优化现有12对棒还原炉工艺参数和设计新型、大直径还原炉具有理论指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟文	青岛科技大学化工学院	87	484	12.0	18.0
2	李建隆	青岛科技大学化工学院	115	654	14.0	19.0
3	范军领	青岛科技大学机电工程学院	13	85	5.0	9.0
4	陈光辉	青岛科技大学化工学院	56	357	11.0	16.0
5	张攀	青岛科技大学机电工程学院	17	130	7.0	11.0