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摘要:
衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素.针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求,文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统,详细论述了LabVIEW环境下的温控系统应用软件设计思路,该应用软件通过VISA接口与精密温度控制仪进行数据通信,依据其内置的PID控制算法,实现温度控制.测试试验表明:该系统具体良好的恒温效果,能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求,具有很高的实用价值.
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文献信息
篇名 基于LabVIEW的温控系统
来源期刊 仪表技术与传感器 学科 工学
关键词 温控系统 LabVIEW 串行通信
年,卷(期) 2012,(9) 所属期刊栏目 传器仪表
研究方向 页码范围 13-14,42
页数 3页 分类号 TM924
字数 1746字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 胡小唐 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 205 1913 21.0 33.0
2 胡春光 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 37 333 10.0 16.0
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研究主题发展历程
节点文献
温控系统
LabVIEW
串行通信
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期刊影响力
仪表技术与传感器
月刊
1002-1841
21-1154/TH
大16开
沈阳市大东区北海街242号
8-69
1964
chi
出版文献量(篇)
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16
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