MEMS超声分离腔二维简正模式谐振频率的研究

• 作者: 华晨辉 李彦彦
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 简正模式 驻波 超声分离 等效电路
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 压电功能器件
• 页码范围: 81-85
• 分类号: TB559
• 字数: 3049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2012.01.021

摘要

以基于二维简正模式的微机电系统(MEMS)超声分离器的结构模型为研究对象,首先根据声电类比原理,得到超声分离腔的二维等效电路模型,通过该模型分析计算二维简正模式的谐振频率；接着通过Ansys软件对MEMS超声分离器进行有限元的仿真分析,验证了等效电路模型的可行性,并得到了最佳激发频率；最后在实验中分别采用单片PZT激发(2,1)阶和双片反相位PZT激发(1,1)阶的简正模式,均取得了一定分离的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	华晨辉	电子科技大学成都学院	5	21	2.0	4.0
3	李彦彦	电子科技大学成都学院	6	22	2.0	4.0