大口径平板中频波前均方根的测量方法

• 作者: 刘昂 徐凯源 徐建程 李强 柴立群 石琦凯 魏小红
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 波前检测 统计方法 大口径平板 中频波前均方根
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 173-178
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0108003

摘要

在高功率激光系统中,大口径元件的中频波前影响系统的安全运行,中频波前均方根( PSD1)是用来评价中频波前质量的关键参数.由于大口径干涉仪在系统传递函数(STF)上不能完全满足中频波前的检测要求,提出采用小口径高分辨率干涉仪检测的统计分析方法,建立了统计理论模型,分析了测量不确定度.建立了子区域PSD1检测装置,提出了子区域倾斜补偿法,提高了检测精度.理论及实验结果表明针对400 mm×400 mm分析区域,子区域数量设置为4×4,置信水平为95.4％时,测量不确定度为±0.266 nm.该方法与大口径干涉仪检测法的对比实验表明,400 mm×400 mm分析区域内检测结果偏差小于5％.子区域统计分析法是对大口径干涉仪检测法的有益补充,对先进光学制造工艺的优化具有重要的参考价值.