电子级硫酸制备工艺及发展现状

• 作者: 曹攀 朱静 李天祥
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 电子级硫酸 质量标准 制备工艺 检测
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 8-11
• 分类号: TQ111.17
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2012.03.003

摘要

电子级硫酸广泛应用于大规模集成电路(IC)、半导体等微电子工业,用作清洗和蚀刻剂.随着中国微电子工业的高速发展,电子级硫酸的需求量日益增加,电子级硫酸有着良好的应用前景.介绍了电子级硫酸的质量标准、生产工艺、检测手段、应用、包装技术,重点介绍了近年来电子级硫酸制备技术的改进,并对电子级硫酸的发展前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱静	贵州大学化学与化工学院	60	571	11.0	22.0
2	李天祥	贵州大学化学与化工学院	37	231	8.0	13.0
4	曹攀	贵州大学化学与化工学院	1	5	1.0	1.0