电镀铬-金刚石复合过渡层提高金刚石膜/基结合力

• 作者: 余红雅 刘仲武 曾德长 潘建伟 邱万奇 钟喜春
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 镶嵌 复合镀 压痕 结合力
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 205-208
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.00205

摘要

在铜基体上沉积铬-金刚石复合过渡层,用热丝CVD系统在复合过渡层上沉积连续的金刚石涂层.用扫描电镜(SEM)、X射线(XRD)、拉曼光谱及压痕试验对所沉积的镶嵌结构界面金刚石膜的相结构及膜/基结合性能进行了研究.结果表明,非晶态的电镀Cr在CVD过程中转变成Cr3C2,由于金刚石颗粒与Cr3C2的相互咬合作用,金刚石膜/基结合力高;在294 N载荷压痕试验时,压痕外围不产生大块涂层崩落和径向裂纹,只形成环状裂纹.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾德长		127	548	11.0	17.0
2	邱万奇		67	339	9.0	15.0
3	钟喜春		59	230	8.0	12.0
4	刘仲武		68	127	6.0	8.0
5	余红雅		44	127	7.0	9.0
6	潘建伟		2	0	0.0	0.0