基于碳纳米管的微纳机电器件应用研究

• 作者: 夏伯锴 张冬至 王凯 童俊
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 微纳器件 综述 微纳传感器 制造工艺 纳米制造
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 71-76
• 分类号: TN304
• 字数: 3004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2012.03.018

摘要

综述了近年来碳纳米管在微纳传感器、纳米发电机、纳米执行器、纳米电子器件、纳米收音机与薄膜扬声器等方面取得的瞩目成果及典型应用,介绍了基于碳纳米管的微纳机电器件的制造工艺、器件性能及其研究进展,指出了碳纳米管基微纳机电器件在多元化发展、工艺多样化、材料复合化、产业化工程等方面的发展趋势.