纳秒激光电化学复合掩模的微细加工

• 作者: 张朝阳 李中洋 毛卫平 王耀民
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳秒脉冲 激光电化学 复合加工 掩模 微细加工
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 336-339,349
• 分类号: TH703|TN305.7
• 字数: 3179字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.05.009

摘要

在激光传输光路中加入掩模对激光束进行空间调制,采用纳秒脉冲激光器、纳秒脉冲电源和1 mol/L的NaNO3电解液对304不锈钢进行掩模微刻蚀加工试验研究.利用伏安法测定304不锈钢阳极电流随平均电压的变化规律；选用平均电压1.5V、脉冲频率2.0 MHz、脉冲宽度60 ns、激光能量160 mJ的工艺参数,在所构建的试验系统中,分别进行了激光电化学复合掩模和盐溶液中的激光掩模加工试验.结果表明:在阳极钝化区内,纳秒脉冲激光电化学复合加工能够显著提高加工速率和加工表面质量,实现了线宽约为130μm、热影响区小的微细刻蚀加工,证实了纳秒脉冲激光电化学掩模加工在微细加工中具有很大潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫平	江苏大学机械工程学院	20	164	7.0	12.0
2	王耀民	江苏大学机械工程学院	7	36	4.0	6.0
3	张朝阳	江苏大学机械工程学院	31	143	7.0	10.0
4	李中洋	江苏大学机械工程学院	2	22	2.0	2.0