扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法

• 作者: 朱龙俊
• 来源期刊: 自动化与仪表
• 关键词: 扩散硅压力传感器 温度 非线性 误差补偿 满量程
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 创意与实践
• 页码范围: 53-56
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9944.2012.03.014

摘要

扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值.文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1％FS以下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱龙俊	上海师范大学天华学院机械工程系	5	15	2.0	3.0