昆虫微机电混合系统发展现状及其关键技术

• 作者: 冯清娟 朱智源 胡开博
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 生物机械混合体昆虫 微机电系统(MEMS) 可靠接口 运动控制 无线收发 能源供给
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 技术论坛
• 页码范围: 285-290,301
• 分类号: TH703|TP242
• 字数: 4224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2012.05.001

摘要

首先介绍了昆虫微机电混合系统领域的研究背景与研究动态,概述了昆虫微机电混合系统的原理及主要优势,分析了昆虫微机电混合系统的关键技术.由于昆虫微机电混合系统是生物领域与MEMS领域的交叉融合,所以其最终实现是一个复杂的过程,涉及接口可靠性、运动控制、无线收发、能源供给等一系列难题,详细从以上4个方面讨论了其工作原理与实现过程.最后,就其前景进行了分析,昆虫微机电混合系统对很多应用领域带来重大影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡开博		5	7	2.0	2.0
2	冯清娟		1	2	1.0	1.0
3	朱智源		1	2	1.0	1.0