沉积氧压对Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜的结构和介电特性的影响

• 作者: 张效华 杨丰 胡跃辉 辛凤 陈义川
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜 脉冲激光沉积 微结构 介电性能
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 448-451
• 分类号: TB303
• 字数: 2868字
• 语种: 中文

摘要

采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片上制备立方BZN薄膜.研究了沉积氧压的变化对薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的影响.结果表明:沉积的BZN薄膜都呈现出立方焦绿石单相结构,但是薄膜的取向随氧压变化而变化.当沉积氧压为10Pa时,薄膜的(222)晶面拥有最强的择优取向.随着氧压的升高,BZN薄膜的介电常数明显降低.在10 Pa氧压下沉积的BZN薄膜展示出介电可调特性为5％ (500 kV/cm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张效华	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	25	69	5.0	7.0
2	辛凤	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	26	53	4.0	6.0
3	胡跃辉	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	54	127	6.0	8.0
4	杨丰	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	13	32	4.0	5.0
5	陈义川	景德镇陶瓷学院机械与电子工程学院	38	96	6.0	7.0