基于LabVIEW的半导体器件检测系统设计

• 作者: 时丙才
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 虚拟仪器 LabVIEW 半导体器件 测试系统
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 虚拟仪器技术
• 页码范围: 94-96,115
• 页数: 4页
• 分类号: TP202+.1
• 字数: 1511字
• 语种: 中文

摘要

为实现半导体器件检测过程自动化,减少人为误操作,提高测量的效率,以LabVIEW 9.0为检测系统的开发平台,设计了半导体器件参数自动测试系统.首先介绍了该系统开发需要的软、硬件资源,详细介绍了软件设计流程及功能实现部分,该系统实现了对半导体器件的检测和对仪器的控制功能,并提供了数据存储、图形显示、错误报警等功能.实验结果表明,系统具有良好的人机对话界面,操作方便,且程序拓展性好,为其他同类型器件测量程序的开发缩短了周期.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	时丙才		3	4	1.0	2.0