接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的确定

• 作者: 伍凡 匡龙 吴时彬 李杰 林常青
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学面形检测 非球面 接触式测量 测量误差 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 727-732
• 分类号: TQ171.65
• 字数: 2620字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122004.0727

摘要

为准确有效地检测大型非球面光学元件的面形,研究了接触式测量光学元件的测量点分布方式.使用不同密度的径向分布及均匀分布的测量点分别对以不同Zernike多项式表示的面形偏差进行采样,然后计算采样所得面形相对给定面形PV值及RMS值的最大相对误差,并对计算结果进行了分析.对1.8m抛物面镜面形实测结果表明:在镜面加工的成型及粗磨阶段,由于面形偏差主要呈旋转对称分布,低密度径向分布测量点即可满足继续加工的检测需求；在精磨及初抛阶段,面形偏差主要为像散或其它非对称面形偏差,测量点均匀分布是提升测量精度的有效手段.此分析方法可以指导测量点的排布方式,从而确保由测量点分布引入的测量误差小于镜面本身面形误差的1/5,提高检测效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	李杰	中国科学院光电技术研究所	125	1027	17.0	27.0
7	匡龙	中国科学院光电技术研究所	5	48	4.0	5.0
8	林常青	中国科学院光电技术研究所	2	11	1.0	2.0