基于图像测量的微刻线尺高精度检测

• 作者: 叶孝佑 孙双花 王鹤岩 薛梓
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 激光二坐标 图像测量 微刻线尺 线间距
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 6-9
• 分类号: TB9
• 字数: 1532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2012.6.002

摘要

在高精度激光二坐标标准装置上实现了线宽2μm、最小线间距10μm的微刻线尺的高精度检测.采用高精度差动式激光干涉测长系统作为测长基准,高倍光学镜和高分辨力CCD组合作为精密光学瞄准定位反馈,设计了采样窗自动识别算法实现了条纹图像的自动识别瞄准,提出了采样窗内双向逐行扫描及3σ准则剔除离群点的边缘提取算法,提高了边缘检测精度.微刻线尺线间距的测量不确定度优于0.3μm,k=2,测量的重复性标准差优于20nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	薛梓		32	62	5.0	6.0
3	孙双花		25	101	6.0	9.0
4	王鹤岩		16	43	5.0	6.0