纳米薄膜的制备技术及其膜厚表征方法进展

• 作者: 吴立敏 徐建 朱丽娜 陆敏
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 纳米薄膜 薄膜制备 膜厚测量
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 11-15
• 分类号: O69|TH871.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2012.03.003

摘要

纳米薄膜材料是一种新型材料,由于其特殊的结构特点,使其作为功能材料和结构材料都具有良好的发展前景.本文综述当前纳米薄膜的制备技术,并针对这些成膜工艺,概括表征纳米薄膜厚度的常用方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴立敏		8	51	4.0	7.0
2	朱丽娜		6	44	3.0	6.0
3	徐建		9	33	3.0	5.0
4	陆敏		7	35	2.0	5.0