基于非晶硅薄膜的微测辐射热计光学仿真和优化

• 作者: 何敏 孙言 李伟 李雨励 蒋亚东
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅 氮化钛 微测辐射热计 光学仿真
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 319-324,331
• 分类号: TN215
• 字数: 2888字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2012.06.003

摘要

基于非晶硅薄膜的非制冷微测辐射热计具有结构简单、易于大规模集成、工艺兼容以及良好探测性能等特点,在红外探测领域等受到关注.引入氮化钛薄膜作为新型红外吸收材料,通过光学导纳矩阵法,对基于非晶硅薄膜的微测辐射热计的红外吸收特性,进行了仿真和优化研究.结果表明,非晶硅微测辐射热计中,氮化钛/非晶硅复合薄膜具有良好的红外吸收性能.当非晶硅薄膜厚度为120nm时,由氮化钛/非晶硅组成的膜系在8～14μm范围内具有96％左右的红外吸收率,其中氮化钛薄膜的最佳吸收厚度为32nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	李伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	75	359	10.0	14.0
3	何敏	电子科技大学光电信息学院	21	59	4.0	7.0
4	李雨励	电子科技大学光电信息学院	2	10	2.0	2.0
5	孙言	电子科技大学光电信息学院	1	2	1.0	1.0