可见光下3维针孔的衍射波面分析

• 作者: 王瑞林 谢伟民 邢廷文
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 物理光学 衍射波面 时域有限差分法 矢量衍射理论
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 382-385
• 分类号: O436.1|TN247
• 字数: 2112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.03.025

摘要

针孔是相移点衍射干涉仪中的关键元件.为了探究针孔的尺寸、制造针孔的材料以及材料的厚度对衍射波面质量的影响,确定点衍射干涉仪的测量精度,采用时域有限差分法分析获得了近场数据,并利用瑞利-索末菲矢量衍射理论将近场数据外推得到远场数据,通过远场处理数据分别对TM和TE偏振光入射针孔时,针孔的大小、材料以及材料厚度对衍射波波面质量的影响进行了理论分析和仿真模拟,得到了相应变化曲线图.结果表明,若要获得理想的球面波,材料厚度不能低于300nm,适当的孔径尺寸可以降低衍射波面误差；当孔径为300nm左右时,波面的均方根误差可达到λ/1000(λ=632.8nm).这一结果对相移点衍射干涉仪的设计和应用是有帮助的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王瑞林	中国科学院光电技术研究所	6	16	3.0	3.0
5	邢廷文	中国科学院光电技术研究所	67	501	11.0	17.0
6	谢伟民	中国科学院光电技术研究所	8	110	6.0	8.0