6英寸区熔单晶硅炉实现国产化

• 来源期刊: 无机盐技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅炉 区熔 国产化 国产设备 炉设备
• 年，卷（期）: wjyjs_2012,（5）
• 页码范围: 26-26
• 页数: 1页
• 分类号: TN305

摘要

9月下旬，北京京运通科技股份有限公司成功开发出6英寸区熔单晶炉设备。采用该国产设备已连续成功拉制出6英寸区熔单晶。