基于eM-Plant的晶圆重入加工自动组合装置仿真

• 作者: 伍乃骐 白丽平 龚倩
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 eM-Plant 仿真 自动组合设备
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 工业自动化
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 2723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2012.08.002

摘要

原子层沉积加工是晶圆制造中典型的重入加工,在这个过程中,晶圆需要在同一个模块中被加工多次,这使得整个系统的调度变得很复杂.为此,基于eM-Plant系统仿真软件,建立了晶圆制造单臂自动组合设备的模型,通过该模型模拟了晶圆重入加工调度过程,最终获得系统加工的节拍,为以后研究晶圆重入加工提供了一个有效方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍乃骐	广东工业大学机电工程学院	77	815	15.0	25.0
2	白丽平	广东工业大学机电工程学院	27	242	8.0	15.0
3	龚倩	广东工业大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0