可变电容静电型超微电机的优化设计

• 作者: 何广平 刘晓伟
• 来源期刊: 微特电机
• 学科: 工学
• 关键词: 静电型超微电机 优化设计 稳定性 波动
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 设计分析
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TM381
• 字数: 1814字
• 语种: 中文

摘要

可变电容静电型超微电机是一类最早出现的动态MEMS器件.针对其静电力十分微小,且动态性能非常有限,给出了侧面驱动可变电容静电型超微电机的数学模型,并对定子采用单相对称电极顺序通电方式进行驱动,在此基础上提出了优化设计方法.实验结果表明,优化后电机的输出力矩有所增大,而且波动明显减小,有利于改善电机输出功率的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何广平		88	490	11.0	18.0
2	刘晓伟		13	8	1.0	2.0