Ka波段宽带薄膜匹配负载设计与制备研究

• 作者: 张万里 彭斌 李凌 王渊朝 王磊 蒋洪川
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微波无源器件 薄膜匹配负载 宽带匹配 Ka波段 TaN薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 375-378
• 分类号: TN61
• 字数: 1832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2012.04.002

摘要

基于实频法思想设计了Ka波段薄膜匹配负载的宽带匹配网络,并利用ADS和HFSS软件进行了仿真和优化.仿真结果表明,在32 GHz～40 GHz频率范围内,所设计匹配负载的电压驻波比均小于1.2.利用丝网印刷以及直流磁控溅射工艺制备了所设计的薄膜匹配负载.测试结果表明,所制备的TaN薄膜匹配负载在30.3 GHz ～ 37.4 GHz频率范围内,其电压驻波比均小于1.3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
3	彭斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	87	638	12.0	21.0
4	王磊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	51	356	8.0	16.0
5	李凌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	14	68	5.0	8.0
6	王渊朝	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	26	2.0	4.0