二氧化硅钝化膜提高GaN基LED光提取效率的研究

• 作者: 高芬
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓基发光二极管 等离子体增强化学气相增强 增透膜
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 80-82
• 分类号: TG174.4|TN312
• 字数: 2102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2012.07.026

摘要

介绍了通过二氧化硅增透膜来提高GaN基LED光提取效率,采用等离子体增强气相沉积法(PECVD)制备了二氧化硅钝化膜,经对器件的测试表明,在器件上沉积二氧化硅增透膜能够使器件的出光效率提高28.4％,同时提高了器件的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高芬		25	257	9.0	15.0