基于接触有限元方法的镜面面形仿真技术研究

• 作者: 徐广州 李婷 阮萍
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 接触有限元 面形仿真 集成仿真 Zernike多项式
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与光学设计
• 页码范围: 305-309
• 分类号: TH74
• 语种: 中文

摘要

为考察在外载作用下某镜体镜面面形的变化是否满足设计要求,研究在预紧力及重力作用下镜面面形的变化规律,使用接触非线性有限元方法对镜体组件进行了仿真,采用基于Zernike多项式的光机集成仿真接口程序对面形数据进行了处理,得到了消除刚体位移后表征面形变化的参数和表示刚体位移系数的分布曲线.结果表明在预紧力和重力作用下刚体位移明显,镜面平移占据了刚体位移的主要方面,基于集成仿真技术的面形处理程序可有效地消除刚体位移；预紧力存在在不同方向重力作用下对面形的影响略有不同,与预紧力相比,重力作用对面形的影响较小.在预紧力作用下面形仿真数据对于镜体设计、装调具有一定指导意义,也说明基于接触方法面形仿真的工程适用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阮萍	中国科学院西安光学精密机械研究所	49	537	13.0	21.0
2	李婷	中国科学院西安光学精密机械研究所	62	306	10.0	14.0
3	徐广州	中国科学院西安光学精密机械研究所	14	98	7.0	9.0