基于模糊逻辑决策的Interbay系统晶圆卡运输成本模型

• 作者: 吴立辉 张洁 颜丙生
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Interbay物料运输系统 晶圆卡 运输成本模型 模糊逻辑
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 所属期刊栏目: 先进管理技术
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TH166
• 字数: 3015字
• 语种: 中文

摘要

为了提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出了一种基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型.基于300mm晶圆制造系统数据进行仿真实验并与固定权重的晶圆卡运输成本模型进行比较,结果表明采用该模型能获得更优的Interbay系统多目标调度性能,表明论文提出的基于模糊逻辑决策的晶圆卡运输成本模型是有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	上海交通大学机械与动力工程学院	187	1538	20.0	32.0
2	颜丙生	河南工业大学机电工程学院	30	173	7.0	12.0
3	吴立辉	河南工业大学机电工程学院	39	133	6.0	9.0