一种采用磁性薄膜制造的微型线阵RF集成电感器

• 作者: 姜劲（校） 高适（编译）
• 来源期刊: 磁性元件与电源
• 学科: 工学
• 关键词: 双向微型线阵 复数磁导率 磁畴图 磁滞回线 电感值 微制造技术 品质因数 RF集成电感器
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 147-150
• 页数: 4页
• 分类号: TM55

摘要

采用一种具有零磁致伸缩特性的磁性薄膜CoNbzr经过精细制作，与磁膜难磁化轴垂线的长度方向相垂直地和水平地构成一个导线微型线阵，经180℃范围退火处理的样品，具有很小的矫顽力和良好的磁导率。利用具有线宽／间距=9μm，2μm的微型线阵制成的RF电感器，显示出具有L=7．5nH（为空气芯的＋11％），R=7．6n和Q=6．3（几乎与空气芯的R和Q值相同）。