双层膜椭偏数据处理的新算法

• 作者: 林天夏 范龙凤 黄佐华
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 椭偏数据处理 双层透明膜 模拟退火-单纯形混合算法
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 589-592
• 分类号: O484.5
• 字数: 2244字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.004

摘要

为了准确测量双层透明膜,有效地结合了模拟退火法和单纯形法的优点,提出一种模拟退火-单纯形混合算法来处理双层透明膜的椭偏数据.在单波长测量时,仅测量1组椭偏参量,可以求解双层透明膜任意两个参量;测量两组以上椭偏参量,可以同时反演双层透明膜4个参量,求解薄膜折射率和厚度精度分别达到0.0002和0.07nm.结果表明,模拟退火-单纯形混合算法反演双层透明膜参量是可行和可靠的,且有较强的样品适应性.该算法适合于单波长椭偏仪对双层及多层膜的反演及实际测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术实验室	63	586	13.0	22.0
2	范龙凤	华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术实验室	1	3	1.0	1.0
3	林天夏	华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术实验室	2	7	2.0	2.0