影响多晶硅质量的因素

• 作者: 董前程
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 氢气 三氯氢硅 质量 影响因素
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 产品
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3205字
• 语种: 中文

摘要

在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中,影响产品品质的因素有:三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等.多晶硅分析要求精度高而分析方法中存在不足,建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董前程		5	30	3.0	5.0