磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术

• 作者: 李民英 陈宇
• 来源期刊: UPS应用
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电氧化物薄膜 TCO 磁控溅射法 电源技术 OLED显示器 薄膜太阳能电池 感应电极 沉积
• 年，卷（期）: upsyy_2012,（10）
• 页码范围: 51-60
• 页数: 10页
• 分类号: TN86
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宇		7	6	2.0	2.0
2	李民英		13	2	1.0	1.0