355nm YAG皮秒脉冲激光晶化非晶硅薄膜的研究

• 作者: 刘超 曾学然 段春艳 沈辉 艾斌 赖键均 邓幼俊
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: YAG激光 非晶硅薄膜 激光晶化 多晶硅薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 13-17
• 分类号: O782|TB34
• 字数: 3307字
• 语种: 中文

摘要

使用355 nm YAG皮秒脉冲激光对250 nm厚的非晶硅薄膜进行激光晶化的研究,并利用金相显微镜、拉曼光谱和X射线能谱(EDS:energy dispersive spectrometer)等对晶化样品进行了分析.结果表明:随着激光脉冲能量的增加,完全熔区和部分熔区的宽度均明显增大.在所研究的脉冲能量范围内(15μl-860μl),所有样品的完全熔区的拉曼光谱均无非晶硅或晶体硅的特征峰,而位于完全熔区边缘的部分熔区的拉曼光谱却显示出晶体硅的特征峰,这可能是因为完全熔区接受到的激光能流密度过大,造成区内绝大部分非晶硅薄膜气化蒸发.这个推测进一步得到了X射线能谱分析结果的证实.X射线能谱分析结果表明,完全熔区的成份主要是玻璃与硅反应生成的硅化物,其表面被二氧化硅层所覆盖.